MICRO-EPSILON（米铱）作为德国专注精密测量技术的企业，深耕工业传感器研发与制造超 50 年，总部位于德国奥格斯堡，是全球范围内工业高精度传感领域的核心参与者之一。公司聚焦非接触式测量技术，构建了覆盖位移、距离、轮廓、温度、颜色及 3D 形貌检测的完整产品体系，凭借扎实的技术积累与工程经验，服务于工业自动化、汽车制造、半导体、新能源等多个关键领域，为工业生产的精度控制、质量检测与工艺优化提供核心技术支撑Micro-Epsilon。

一、核心技术体系与原理

MICRO-EPSILON 的技术核心围绕非接触式精密测量展开，规避接触式测量的磨损、干扰等问题，核心技术涵盖激光三角测量、共聚焦白光测量、电容式传感、涡流传感、3D 轮廓扫描及红外测温等，各技术适配不同测量场景与精度需求。

（一）激光三角测量技术

该技术是公司应用较广的核心技术之一，核心原理为激光发射器发射线性激光至被测物体表面，反射光经光学透镜聚焦至 CCD/CMOS 感光芯片，通过光斑位置偏移量，结合几何算法计算被测物体的位移、距离或轮廓数据。

代表产品为 optoNCDT 系列激光位移传感器，具备紧凑化设计、高测量速率与强抗环境光干扰能力，可适配高反射、哑光等多种材质表面，测量范围覆盖微米级至米级，线性度可达 ±0.1μm 级别，广泛用于工业在线距离与位移检测。

（二）共聚焦白光测量技术

confocalDT 系列共聚焦传感器基于白光色散原理，将宽光谱白光分解为不同波长的单色光，通过光学聚焦系统使不同波长光线聚焦于不同焦平面。被测物体表面反射的特定波长光线经光路反馈，通过识别聚焦波长即可精准计算距离与厚度，尤其适合透明 / 半透明材质（如玻璃、薄膜、晶圆）的厚度测量与多层结构检测。

该技术无激光干涉效应，轴向分辨率可达纳米级，可实现微小形貌、透明涂层厚度的高精度测量，适配半导体、光学元件制造等场景Micro-Epsilon。

（三）电容式传感技术

电容式传感器基于平行板电容原理，通过检测传感器电极与被测导电物体间的电容变化，换算位移、距离或厚度数据。MICRO-EPSILON 采用三轴设计（区别于传统同轴设计），增设独立供电?；せ?，形成均匀电场，抑制周边导电物体干扰，提升测量稳定性与线性度。

产品具备耐温、抗振动特性，可在油雾、粉尘等恶劣工业环境中稳定运行，实现亚微米级精度测量，适配电池极片厚度、半导体晶圆平面度、精密机械间隙检测等场景。

（四）3D 轮廓扫描技术

scancontrol 系列 2D/3D 激光轮廓扫描仪融合高速激光线扫描与图像处理技术，发射红色或蓝色激光线至被测表面，通过高速相机采集轮廓图像，实时生成二维轮廓数据或三维点云模型。

蓝色激光适配高反射、高温物体（如焊接件、金属熔融表面），可减少热辐射干扰；红色激光适配常规工业表面。设备测量速率可达数万点 / 秒，可在线检测间隙、台阶、角度、焊缝形貌等参数，适配焊接自动化、汽车车身检测、3C 产品外观缺陷筛查等场景。

（五）红外测温与颜色传感技术

红外测温传感器：基于物体红外辐射能量与温度的对应关系，通过红外探测器采集辐射信号，换算表面温度，实现非接触、高速温度检测，适配高温工业场景（如金属锻造、塑料加工），测温范围覆盖 - 50℃至 2000℃，响应时间可达毫秒级。

颜色传感器（colorSensor CFO 系列）：通过采集物体反射光的光谱信息，与标准色库比对，实现颜色识别、色差检测，测量速率高，可集成至自动化生产线，适配印刷、涂装、食品包装等行业的颜色一致性检测。

二、核心产品系列及关键参数

MICRO-EPSILON 产品聚焦工业精密测量，核心产品系列及关键特性如下表所示：

表格

产品系列核心技术测量范围精度 / 分辨率核心应用场景

optoNCDT 1900激光三角测量2mm–1000mm线性度 ±0.1μm；抗环境光 10000lx工业自动化、机械制造、在线距离检测

confocalDT 2470共聚焦白光0.1mm–30mm轴向分辨率≤10nm；横向分辨率≤1μm半导体晶圆、玻璃、薄膜厚度测量

scancontrol 26003D 激光轮廓视场 50–500mm；深度 ±25mmZ 轴重复精度 0.25μm；XY 分辨率 8μm焊接轮廓、汽车车身、3C 产品检测

电容式传感器（CapaNCDT）电容传感0.05mm–5mm分辨率≤0.01μm；线性度≤±0.05%电池极片、半导体平面度、精密间隙

surfaceCONTROL3D 快照测量100mm×100mm–500mm×500mm点云分辨率可达 0.1mm汽车焊点几何形态、大面积形貌检测Micro-Epsilon

colorSensor CFO100颜色传感CIE Lab 色域色差精度 ΔE≤0.5涂装、印刷、包装颜色一致性检测

三、典型工业应用场景

（一）汽车制造

汽车行业是 MICRO-EPSILON 的核心应用领域，覆盖车身焊接、零部件加工、质量检测全流程Micro-Epsilon。

点焊质量检测：surfaceCONTROL 3D 快照传感器单次测量生成焊点高清点云，精准检测焊点高度、直径、形状偏差，替代传统二维视觉系统，减少返工与废品率Micro-Epsilon。

制动盘涂层检测：激光传感器测量碳化钨 / 碳化钛?；ね坎愫穸龋?00–500μm），适配欧 7 排放标准对制动部件的检测要求Micro-Epsilon。

车身间隙与面差检测：scancontrol 扫描仪在线检测车门、引擎盖与车身的间隙（±0.1mm）与面差，提升车身装配精度。

（二）半导体与电子制造

半导体行业对测量精度要求严苛，MICRO-EPSILON 产品适配晶圆检测、芯片键合、精密定位等场景Micro-Epsilon。

晶圆平面度检测：电容式传感器非接触测量晶圆弯曲、扭曲变形，精度达亚微米级，保障混合键合工艺可靠性Micro-Epsilon。

晶圆 3D 形貌测量：reflectCONTROL 偏折法测量系统通过条纹投影，单次成像检测 150–300mm 晶圆平整度，适配半导体量产线高速检测需求Micro-Epsilon。

电子元件厚度检测：共聚焦传感器检测手机屏幕玻璃、PCB 板涂层厚度，分辨率达纳米级，保障元件一致性。

（三）焊接自动化

焊接过程需实时监测路径、间隙与焊缝质量，MICRO-EPSILON 传感器适配点焊、机器人焊接、增材制造等场景。

焊缝轮廓检测：scancontrol 蓝色激光扫描仪适配高温焊接表面，实时检测焊缝宽度、高度、坡口角度，识别气孔、裂纹等缺陷。

焊接路径规划：激光传感器实时检测工件位置偏差，反馈至机器人控制系统，动态调整焊接轨迹，提升焊接精度与稳定性。

（四）新能源与电池制造

新能源电池生产对极片厚度、隔膜对齐、电极间隙控制要求严格。

极片厚度测量：电容式传感器在线检测正负极极片厚度（精度 ±0.5μm），避免厚度不均导致的电池性能差异。

电池组装间隙检测：微型化激光传感器检测电池壳与电极间隙，适配狭窄安装空间，保障组装精度。

四、技术核心优势

（一）高测量精度与稳定性

依托德国精密制造工艺与长期技术积累，产品测量精度覆盖微米级至纳米级，可在 - 40℃至 + 85℃宽温域、振动、粉尘、油雾等恶劣工业环境中稳定运行，信号漂移小，重复性高，适配工业量产线长期连续作业需求Micro-Epsilon。

（二）非接触测量无损伤

全系列核心传感器采用非接触测量方式，无机械磨损，不损伤被测物体表面，适配柔软材质（如薄膜、极片）、精密元件（如晶圆、光学镜片）的测量场景，避免接触式测量导致的工件损坏与数据误差。

（三）紧凑化设计易集成

产品结构紧凑、体积小巧，适配狭窄安装空间；支持 EtherCAT、PROFIBUS、RS485 等主流工业接口，可快速集成至 PLC、工业机器人、自动化生产线等现有系统，适配 OEM 定制与批量生产需求Micro-Epsilon。

（四）多技术适配全场景

覆盖激光、共聚焦、电容、涡流、3D 视觉等多种测量技术，可根据被测物体材质（金属 / 非金属 / 透明）、测量维度（一维 / 二维 / 三维）、精度需求（微米 / 纳米）及环境条件，提供针对性解决方案，适配多行业复杂测量场景。

五、总结

MICRO-EPSILON 凭借多元精密测量技术、的产品体系及扎实的工业应用经验，成为工业传感领域的重要支撑力量。其产品聚焦非接触、高精度、高稳定性测量需求，覆盖汽车、半导体、焊接、新能源等关键领域，为工业自动化升级、产品质量提升、工艺优化提供可靠的技术保障。随着工业 4.0、智能制造的持续推进，工业生产对精密测量的需求将进一步提升，MICRO-EPSILON 也将持续迭代技术，拓展应用边界，适配更多工业场景的测量需求。